为什么是她自己主攻这个项目呢,那是因为,光刻机是芯片研发的“卡脖子”核心设备。
要知道,不管是北斗卫星的导航芯片还是计算机项目的核心处理器,都得靠光刻机才能生产,要是没有这个设备,那这两个项目就全成了“空中楼阁”。
现下的别说国内连台能做精密加工的普通机床都得靠进口,更别说光刻机这种能刻出微米级电路的“国之重器”了,国外这会儿也都还没有摸到光刻机研发的门槛呢。
要研发光刻机最难的技术问题,首当其冲的是光学系统的精密适配。
光刻机刻蚀电路依赖的“光刀”,不仅需要稳定的能量输出,更要通过多组镜片实现光束聚焦与路径校准。
当前压根没有高精度光学加工设备,实验室里的镜片要么是从旧相机、望远镜里拆的二手货,要么是机修组用手工研磨的简易镜片,表面平整度误差常超过5微米,远达不到光刻要求的0.5微米标准。
其次是光刻胶的自主研发。
光刻时需要在硅片表面涂覆光刻胶,光束照射后,光刻胶会发生化学变化,再通过显影、蚀刻形成电路图案。
可当时国内没有专用光刻胶,只能用进口的普通感光胶替代,这种胶敏感度极低,要么曝光不足导致电路图案模糊,要么曝光过度让胶层开裂。所以,没有适配的光刻胶,也就无法稳定刻蚀电路。_c